П 84 Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок [Текст] : [сборник] : в 2-х ч. / Акад. наук СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии; отв. ред. Л. Н. Александров и Ф. А. Кузнецов. - Новосибирск : Наука, 1975. Ч. 1. - 270 с. : фот. - Библиогр. в конце ст. - 2800 прим.. - 1.93 р. Зміст: Термодинамика осаждения Кинетика роста и травление в газовой фазе Методика выращивания эпитаксиальных пленок
РУБ 540.5 + 531.9 Рубрики: Фізична хімія. Хімічна фізика--збірники наукових праць Дод.точки доступу: Александров, Леонид Наумович \ред.\; Кузнецов, Ф. А. \ред.\; Академия наук СССР; Институт физики полупроводниковИнститут неорганической химии; Всесоюзный симпозиум по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок(3 ; [1972] ; Новосибирск) Примірників всього: 1 фб (1) Свободны: фб (1) |